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| 詳細(xì)信息 |
| 基于CVD傳感元件平臺(tái)ASHCROFT雅科ZT/ZX/ZL系列高純壓力傳感器 |
| 來源于: 發(fā)表時(shí)間：2024/7/17 |
半導(dǎo)體工業(yè)跟著轎車制作，人工智能，物聯(lián)網(wǎng)，工業(yè)4.0等 域的飛速發(fā)展，面臨著產(chǎn)能，可靠，供應(yīng)鏈成本等重大應(yīng)戰(zhàn)。雅科的壓力測(cè)量技術(shù)和產(chǎn)品，包括裝備CVD傳感元件的高純壓力傳感器以及運(yùn)用 Si-Glas? 超薄單晶硅膜片可變電容傳感元件的微差壓傳感器，在諸如氣體操控面板，氫氣壓力檢測(cè)，以及潔凈室要害環(huán)境操控等運(yùn)用 域，為半導(dǎo)體制程和設(shè)備供給精確的測(cè)量和有用的保障。
依據(jù)CVD傳感元件渠道ASHCROFT雅科ZT/ZX/ZL系列高純壓力傳感器
高純氣體的純度至少為99.999%，其清潔度水平超越制藥職業(yè)的 萬(wàn)倍甚至更多。如此高標(biāo)準(zhǔn)的要求是依據(jù)半導(dǎo)體制程的精密，也因?yàn)橹瞥?旦被污染所形成的丟掉巨大。實(shí)際上某些設(shè)備觸及多達(dá)400個(gè)工藝過程，也增加了被污染的機(jī)率。
因此壓力傳感器必須具有高精確，高潔凈度，接液質(zhì)料應(yīng)能與多種氣體兼容，同應(yīng)確保介質(zhì)和顆粒潴留的可能降到 低程度。部分運(yùn)用場(chǎng)合需要符合氣密要求。
雅科ZT/ZX/ZL系列高純壓力傳感器依據(jù)CVD傳感元件渠道，是超純運(yùn)用的專用壓力傳感器產(chǎn)品，其產(chǎn)品特包括能習(xí)慣不同介質(zhì)的接液元件質(zhì)料，如316L, A286，Co-Ni 合金等，也包括VCR接頭，以及符合規(guī)范的表面光潔度和測(cè)量精度。每臺(tái)產(chǎn)品都通過泄露檢測(cè)(<5 x 10?? atmcc/s)以及兩層包裝處理，確保完整和潔凈度。
CVD傳感元件技術(shù)，是以化學(xué)氣相堆積的工藝(Chemical Vapor Deposition)，使多晶硅薄膜與接液基座形成原子 其他結(jié)實(shí)結(jié)合，是確保ZT/ZX壓力傳感器的穩(wěn)定與可靠的要害。
雅科GX/CX/DX等微差壓傳感器產(chǎn)品依據(jù)MEMS制作的的Si-Glas? 超薄單晶硅膜片可變電容傳感元件，選用雅科TruAccuracy?技術(shù)進(jìn)行校驗(yàn), 充分考慮零點(diǎn)和滿量程差錯(cuò)，可選SpoolCal?規(guī)劃，允許在線標(biāo)定和校驗(yàn)。
Si-Glas傳感元件運(yùn)用的硅膜片具有出色的彈和延展，金屬和晶體通過濺射的方法與硅片結(jié)實(shí)結(jié)合，因此傳感元件具有出色的溫度規(guī)劃和安裝方位改變的習(xí)慣，具有出色的長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定。這是雅科特有的技術(shù)，也是確保雅科的微差壓傳感器精確可靠的要害。 |
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